在当今高度自动化的半导体生产设施中, 我们制造的芯片可以被小心地储存起来, 跟踪, 并以最有效的方式处理.

这对测试来说是正确的, 在制品数量, 十字线/面具, 以及其他各种含有晶圆片的特殊载体. dafabet手机版., 我们的自动化物料处理系统(AMHS)包括一套作为独立操作的存储和缓冲系统, 无缝集成到各种自动化运输系统.


装料工

用于晶片载体存储, Muratec补料机通常用于200mm和300mm晶圆厂.

这些储物柜还具有多种选择,以增加多个操作, 开销运输, 港口输送机系统, N2/xCDA清除应用程序.
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十字线储料器

该Muratec CDRX十字线Stocker结合高密度十字线和掩模存储与十字线pod存储成一体, 世界级的大发体育app下载.

最多可存储1个,920年分划板, CDRX能够在ISO CLASS 1环境中通过N2/xCDA吹扫最小化晶体和雾霾增长.
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工具站缓冲区

Muratec可拆卸的工具前端FOUP缓冲系统提高了工具的生产率, 配合OHT AMHS系统,减少工具等待时间.

这意味着在工具装载端口等待在制品到达或离开所花费的时间更少. 为你找到正确的工具站缓冲器!
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零占用存储

为在制品运输船和十字线吊舱提供存储, 我们的零占地面积存储(ZFS)系统旨在大幅节省洁净室占地面积.

采用Muratec ZFS系统, 存储可在高密度存储设计下轨和侧轨(两侧).
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